特点/应用◆ 满足I-V/C-V，PIV测试，光电测试等.
◆ 最大可用于6英寸以内样品测试
◆ 同轴丝杠传动结构，线性移动
◆ 可放置于手套箱内使用
◆ 形状轻巧，操作方便，价格实惠
探针台主要参数| 组件 | 项目 | 特性和参数 |
| 台体 | Chuck尺寸 | 4英寸 |
| 水平旋转 | 可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置 | |
| XY移动行程 | 2英寸*3英寸 | |
| X-Y移动精度 | 10um | |
| 样品固定 | 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环 | |
| 针座平台 | 左右各一个针座平台，最多可放置6个小型探针座 | |
| 背电极测试 | 样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极 | |
| 显微镜 | 显微镜类型 | 单筒显微镜/体视显微镜 |
| 放大倍率 | 16X-100X | |
| 移动行程 | 水平方向绕立柱360度旋转，Z轴50.8mm | |
| 光源 | 外置LED无极调节亮度环形光源 | |
| CCD | 200万像素/500万像素/1200万像素 | |
| 探针座 | X-Y-Z移动行程 | 12mm*12mm*12mm |
| 移动精度 | 10um/2um/0.7um/0.5um/0.35um | |
| 吸附方式 | 磁力吸附/真空吸附 | |
| 探针夹具 | 线缆 | 同轴线/三轴线/射频线 |
| 漏电精度 | 10pA/100fA/10fA | |
| 固定探针 | 弹簧固定/管状固定 | |
| 接头类型 | BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子/射频接口 | |
| 探针 | DC针尖直径 | 0.2um/lum/2um/5um/10um/20um/50um/100um |
| RF探针频率 | 40GHz/50GHz/67GHz/110GHz | |
| 材质 | 钨钢/铍铜/镀镍 | |
| 外形 | 400mm长*380mm宽*500mm高 | |
| 重量 | 约20千克 | |
| 可选附件 | 加热台 | |
| 显示器 | ||
| 转接头 | ||
| 射频测试配件 | ||
| 根据客户要求定制 | ||
工厂地址：深圳市龙华区福城街道新和社区田茜路19号二层 0755-29005300
业务经理：王先生 13802245525 （微信同号）
深圳公司：深圳市龙华区福城街道田茜路19号
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